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芯片设计好之后就到晶圆的制造环节了，这个环节更是不容易。
首先就是硅片制备。
也就是从石英砂中提炼出高纯度的硅，将其制成单晶硅锭，再切割成薄片，这些薄片就是晶圆，是芯片制造的基础材料，其质量直接影响芯片性能。
然后到了芯片制造最关键的步骤之一，光刻。
通过光刻机将设计好的电路图案投影到晶圆表面的光刻胶上，使光刻胶在光照部分发生化学变化。
经过曝光后的光刻胶就像一个模板，后续的蚀刻等步骤将依据这个模板进行。光刻的精度决定了芯片的制程精度，例如12nm、7nm等制程，制程越小，芯片的性能越高，功耗越低。
之后就是蚀刻。
使用蚀刻剂将没有被光刻胶保护的硅片部分蚀刻掉，形成电路图案的凹痕，从而在晶圆表面构建出晶体管和线路的基本结构。
蚀刻过程需要精确控制，避免对不需要蚀刻的区域造成损坏。
之后还有掺杂，薄膜沉积等环节。
然后就是封装了。
当然，别以为封装的技术含量就低了。
封装一点都不简单。
它要经过切割，贴片，引线键合或倒装芯片连接，灌封等过程。
总之，芯片的制造很困难。
叶云州转向负责星耀公司芯片制造的负责人梁梦松问道：“梁博士，你预计我们的芯片制造工厂什么时候能建造完成？”
梁梦松沉思一会儿说道：“我们计划是六月份完成工厂的主体建设，加上内部装修，设备调试等等，我预计可能要到年底才能做芯片流片，大规模生产可能要等到2006年一季度了。”
叶云州微微叹了口气，一切都要从头开始，真不容易啊。
目前在星耀产业园区正在建造的两个芯片相关的超级大的工厂，总投资400亿RMB。其中一个晶圆制造厂，这个厂建成后其规模会比台积电的厂还大还先进。
除了这个晶圆制造厂，还有一个芯片封装厂，跟晶圆制造厂是配套的。
叶云州转向林宇问道：“我们向ASML订购的10台浸润式的光刻机大概什么时候交付？”
“嗯，我们跟ASML签订的合同上是2006年1月份交付，为了让他们按时交付，我们签合同的时候约定了很高的违约金，我想ASML公司会按时交付的。”。
叶云州点点头，转向星耀微电子装备厂的负责人刘世元道：“刘博士，你们光刻机团队要努力了，我得到消息，ASML也在研究EUV光刻机，我希望你们能在它们前面研究出来，你们需要任何资源公司都会给到你们，要钱，公司给你们拨款，要人才公司给你们去挖人......我只要结果。”
刘世元微微皱眉，光刻机的制造考验的可是一个国家的基础工业能力的。
虽然有叶云州给他们的光刻机的技术图纸，但他也不敢打包票在ASML公司之前搞出EUV光刻机，因为ASML公司的背后是整个美西方的工业支持，包括日本这样的国家。
而他们星耀微电子只能依靠夏国内陆的基础工业能力，连湾湾和香江都依靠不了。
比如光源系统，全世界只有德国蔡司公司可以提供。
EUV光刻机需要产生波长为13.5nm的极紫外光，主要通过高功率的二氧化碳激光器轰击锡液滴来产生等离子体，从而获得极紫外光。
这个过程需要精确控制激光的功率、频率和脉冲，以及锡液滴的大小、速度和喷射频率等参数，技术难度极高。
为了保证光刻的精度和质量，光源的能量稳定性要求非常高。
极紫外光的功率波动必须控制在极小的范围内，任何微小的波动都可能导致光刻图案的偏差，影响芯片的性能和良品率。
EUV光刻机的光学系统主要采用反射式光学元件，因为极紫外光在大多数物质中吸收严重，很难像传统光刻那样使用透镜。
