国芯崛起:从香江到硅谷

第359章 实验室的星光与汗水 - 光刻胶神农配方的诞生(2/2)

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比如,当团队在提高含氟聚合物对193nm紫外光敏感度上久攻不下时,林轩会“突然想起”某个在前世被证明非常有效的、关于引入特定吸电子基团来调控聚合物HOMO-LUMO能级差的理论,

并建议他们可以尝试一下某个冷门的、拥有独特分子结构的含氟苯乙烯类单体。

又比如,当团队在如何降低光刻胶线边缘粗糙度(LER)上百思不得其解时,

林轩会“偶然看到”一篇关于高分子链缠结与表面张力对LER影响的早期研究论文,

并“提醒”他们,或许可以通过优化聚合物的分子量分布、或者在配方中加入某种能够降低高分子链活动性的特殊添加剂,来改善LER性能。

这些看似灵光一闪的金手指,每一次,都如同在迷雾中为团队点亮了一盏明灯,

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让他们能够迅速地找到正确的方向,少走无数的弯路。

与此同时,启明芯“伏羲”AI超算平台,也在这场光刻胶的“炼金术”中,展现出了其近乎神迹般的强大威力!

联合实验室的科学家们,将数以万计的、关于不同聚合物单体结构、光致产酸剂(PAG)分子设计、溶剂配方、以及各种添加剂的基础物理化学参数和已知的实验数据,

全部输入到“伏羲”AI的材料基因组数据库和高通量计算平台之中。

然后,在林轩设定的几个核心性能优化目标的指引下,“伏羲”AI便开始利用其强大的量子化学模拟、分子动力学仿真、以及基于深度学习的“逆向设计”能力,

在全球范围内,对数百万、数千万、甚至数亿种可能的材料分子结构和配方组合,进行暴力穷举式的虚拟筛选和性能预测!

它能够在短短数小时之内,完成传统人工实验可能需要数年甚至数十年才能完成的计算量!

它能够从看似杂乱无章的海量数据中,发现那些隐藏最深的、决定光刻胶核心性能的构效关系和黄金配比!

它甚至能够根据预设的性能目标,反向推导和设计出全新的、地球上从未存在过的、具有特定功能的聚合物分子或PAG结构!

“这……这简直不是在做实验,这分明是在开上帝视角啊!”

一位来自华清大学的年轻博士后,在看到“伏羲”AI平台仅仅用了一天时间,就从数万种备选PAG分子中,

精准地筛选出了三款在光酸产生效率、酸扩散控制和热稳定性等综合指标上都远超现有商用产品的全新PAG候选结构时,忍不住发出了这样的惊叹!

就这样,在林轩那超越时代的未来视野指引下,在顾维钧等顶尖科学家的工匠精神打磨下,

更在“伏羲”AI平台那近乎“作弊”般的强大算力加持下,“神农一号光刻胶配方”的研发,如同按下了核动力加速键,

以一种令整个行业都难以置信的速度,向前飞速推进!

一个又一个技术难关被攻克!

一种又一种性能更优异的新型聚合物、PAG和添加剂被成功合成出来!

光刻胶的分辨率,从最初的只能勉强达到90纳米,

一步步地向着65纳米、45纳米、32纳米、甚至28纳米的极限逼近!

敏感度越来越高!线边缘粗糙度越来越低!工艺窗口越来越宽!

实验室里的星光,见证了无数个不眠之夜的汗水与智慧。

每一次微小的进步,都凝聚着整个团队的执着与梦想。

终于,在公元2013年盛夏的一个深夜。

当顾维钧颤抖着双手,将一片涂覆了最新一代神农一号光刻胶配方V9.9版的

12英寸硅晶圆,送入实验室那台从欧罗巴高价进口的、经过启明芯工程师深度改造和优化的193nm ArF浸没式光刻机中,

并成功地在硅片上曝光和刻蚀出了线宽仅有28纳米、且边缘极其陡峭、缺陷密度几乎为零的测试图形时……

整个“启明芯-国家光刻材料联合实验室”的核心控制室内,爆发出了一阵压抑了许久的、如同火山爆发般猛烈的欢呼!

成功了!他们真的成功了!

在M国和东瀛巨头长达数十年的技术封锁和市场垄断之下,

在几乎是从零开始的极端困境之中,华夏,终于拥有了第一款性能达到世界顶尖水平的、拥有完全自主知识产权的高端ArF浸没式光刻胶!

这一刻,实验室的星光,仿佛都为之黯然失色!

因为,一种更加璀璨、也更加耀眼的“华夏之光”,

正在从这间小小的实验室中,冉冉升起,即将照亮整个“星尘补天”的漫漫征途!

“神农一号光刻胶配方”,在经历了无数次“黎明前的黑暗”之后,

终于迎来了它石破天惊、光耀寰宇的伟大诞生!

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