赤色军工,刚建国你就要造航母?

第226章 粤州硅片厂(2/2)

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听到周博主动问他,罗曼诺夫皱眉道:“我正要谈反应炉的问题,我和郭维达瓦里希在技术上有些分歧,你来看一看吧!”

周博点点头,郭维是中方技术负责人,他的技术路线是周博提供的。

所谓的技术分歧,周博心里已经大概有了数。

“那好,我们看看!”

说着,众人向着车间走去。

从硅矿石到高纯硅,不是一步完成的。

按照硅提纯的步骤,硅片厂建设了三大车间。

第一车间是电弧炉车间,负责硅矿石第一步冶炼,使二氧化硅与碳发生反应,生成粗硅(也称冶金级硅),纯度约为95%~99%。

第二车间是酸洗车间,通过酸化反应,去除粗硅中的铁、铝、碳等杂质,提高硅的纯度至99.9%以上。

这两步都是传统工艺,双方没什么分歧。

为了快速上马,周博甚至直接照搬毛熊方案,设备也都从毛熊进口。

而第三车间是提纯车间。

将低纯硅与氯化氢(hcl)反应生成三氯硅烷(Sihcl?),然后通过蒸馏和化学气相沉积(cVd)将三氯硅烷还原为高纯度多晶硅。

纯度达到99.9999%(6N)至99.%(9N)

这个方法被称为西门子法。

双方分歧就在这一步。

西门子法虽然被各国广泛采用,但传统西门子法在效率、能耗、生产成本都不太理想。

因此,周博采用了更先进的改良西门子法。

能耗显着降低,同时效率提升一倍以上。

传统西门子法中,硅的沉积率只有约10%-15%。

如果采用改良西门子法,沉积率提高到30%。

很快,众人来到提纯车间,聚集在一个4米长的圆柱形金属腔体前。

这是硅提纯的关键设备,反应炉。

提纯时,将多根细长的硅棒(硅芯)插入反应炉。

然后通过沉积(cVd)反应,在高温下将硅沉积到细长的硅棒上,形成高纯度多晶硅。

罗曼诺夫道:“周博达瓦里希,这是你们设计的反应炉,怎么能横式布置呢。

你知不知道,如果气体分配不均匀,硅纯度就无法保持一致。”

罗曼诺夫的声音有些着急,看得出来,他还是很敬业的,对工作一丝不苟,并没有因为是夏国项目就有所懈怠。

周博笑了笑,传统西门子法都是立式炉,横式炉是后世设计,效率更高。

“罗曼诺夫同志,横式炉是新式方案。

气体流场经过优化,硅纯度绝对可以保证!”

“你确定?”

“当然!”周博自信十足。

“不仅如此,横式炉效率还更高。

我问你,你们的反应器能沉积几根硅棒?”

“八根!”

罗曼诺夫回答道,声音带着几分自信。

他知道,这个数字在全球算是领先的。

周博笑了笑,淡淡道。

“我们的横式反应炉可同时沉积36根硅棒···”

36根!

一众毛熊专家都瞪大了眼睛。

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