新笔趣屋【m.xbiquwu.com】第一时间更新《学霸的军工科研系统》最新章节。
常浩南没有立刻离开而是起身，径直走向了正被几位同行围住交流的吴明翰院士。
“吴院士，您好。”常浩南伸出手，语气平和而尊重。
吴明翰连忙结束与旁人的谈话，转过身，双手握住常浩南的手：“常院士！您好您好！没想到您也来参会了，刚才的议题……”他以为常浩南是来讨论大会内容。
常浩南微微一笑，开门见山，却又绕开了刚才大会的焦点：“吴院士，这次来，是想了解下华芯国际在更成熟制程方面的能力。”
这个说法实在有点太模棱两可，吴明翰用笔帽蹭了蹭头发：“具体是指……哪方面”
会场内人多眼杂，再者栗亚波那边的试验也还没个结果，所以常浩南还不准备把自己的成果直接说出来。
而是换了个角度。
“我们火炬集团，连同火炬-c.b.法拉利公司，目前正在积极布局智能制造和工业物联网领域。”他提到了自己掌控的资源，“这一块对芯片的需求量巨大，而且跟传统的工控需求不同，这一块对产品性能的要求不亚于消费端。”
“不知道……华芯国际目前在48nm，以及更精细工艺节点的产能如何是否能支撑大规模、高性价比的流片需求”
吴明翰作为内行人，当然知道再怎么高精尖的工控需求也不太可能跟消费端一样，所以对方的提问大概率是醉翁之意不在酒。
因此比较委婉地回答道：
“常院士，智能制造和物联网这块，主要应该是48nm，或者更成熟的65nm、90nm节点，这些算是我们目前产能的主力，良率和稳定性经过多年打磨已经相当不错，成本也有竞争力，但是……”
他话锋一转，转向另一个角度：
“您说的‘更精细节点’，如果想通过nxt:1950i这样的深紫外设备制造，那就要结合离轴照明、相移掩模、还有多重曝光这些技术，去强行实现比理论极限更高的分辨率……技术上，我们确实在攻关，也取得了一些成果。”
常浩南也看出对方是会了意，于是追问：“量产能力和良率如何”
吴明翰摇摇头，语气变得沉重起来：“理论上，曝光次数每翻一倍，分辨率就能增加一倍，但实际问题非常大……”
说到这里他略略加快脚步，和常浩南来到一个稍僻静的地方：
“一方面，这些技术本身极其复杂，工艺整合还不完全成熟，任何一个环节的波动都会导致失败。另一方面，多重曝光极大地增加了工艺步骤和套刻对准的次数，每一次对准都会引入微小的误差，累积起来，会导致芯片上特征尺寸的均匀性变差，关键尺寸偏差飙升……”
“总体来说，双重曝光可能可以实现比48nm更高的特征尺寸，但良品率和成本都不太容易控制，产能也就不可能提上去，至于四重曝光……”
吴明翰脸部肌肉抽动了一下：“理论性能几乎可以对标euv，不过大概率连一片产品都流不出来。”
常浩南静静地听着，脸上没有任何惊讶或失望的表情，仿佛早已预料到这个答案。
他对吴明翰描述的困境不置可否，既没有追问细节，也没有表达看法。只是在吴明翰说完后。
只是沉默了几秒钟，然后提出了一个让吴明翰更加意外，却又隐隐觉得合情合理的请求：
“吴院士，您说的我明白了。技术攻关的艰难，我深有体会。”他停顿了一下，“不知是否方便……我想近期亲自去华芯国际的晶圆厂参观一下……不需要特别安排，就看看你们最真实的生产线和工艺现状。”
实际上，这个要求提的有些冒失。
华芯国际毕竟是个企业，常浩南手里也有企业，虽说不构成直接竞争，但你开口就要去最核心的地方看看，总归不太合适。
但吴明翰心中却念头飞转：常浩南院士突然对芯片制造产生了浓厚兴趣而且是成熟制程还要实地看生产线
这绝对不仅仅是出于对智能制造芯片供应商的考察那么简单。
联想到火炬实验室那些前沿研究成果……
吴明翰的心脏不由得加速跳动了几下。
他隐隐感觉到，这次参观如果成行，或许会带来一些意想不到的转机。
“当然方便！”吴明翰冒着越俎代庖的风险应承下来，“我马上联系人安排！您看什么时候合适我们全程配合！”
